Bezstykowe pomiary nierówności powierzchni – cz. I
Całość kształtu uzyskuje się przez skanowanie pionowe powierzchni (zmiana odległości pomiędzy obiektywem a detektorem) i sukcesywne uzupełnienie obszarów, w których poprzednio nie uzyskano ogniskowania. Zebrane dane z obrazów są przetwarzane na widok trójwymiarowy. Mikroskop różnicowania ogniskowego umożliwia więc rekonstrukcję topografii powierzchni z obrazów 2D zarejestrowanych pomiędzy najniższym i najwyższym punktem ogniskowania. System pomiarowy jest przy tym mikroskopem optycznym, a więc wszystkie obrazy mierzonego przedmiotu są kolorowe. Schemat takiej analizy pokazano na rys. 1.
Współczesny system pomiarowy wykorzystujący różnicowanie ogniskowania jest układem skanującym, często wyposażonym w cały zestaw obiektywów do różnych zadań pomiarowych. Zastosowanie uchwytu rewolwerowego umożliwia wygodną zmianę powiększeń. Mikroskop różnicowania ogniskowego pokazano na rys. 2.
Mikroskop ten pozwala na zebranie kilkudziesięciu milionów punktów pomiarowych w czasie mierzonym w sekundach. W zależności od zastosowanego obiektywu zakres pomiarowy może wynosić od około 3 mm przy rozdzielczości pionowej 10 nm do ponad 20 mm przy rozdzielczości rzędu 400 nm. Przedmioty mierzone mogą być wykonane z różnych materiałów, o bardzo różnej chropowatości i [...]
Co tydzień otrzymaj od nas porządną dawkę wiedzy o branży przemysłowej!
